高束流分析电子源简介以及技术优势
高束流分析电子源简介:面向微区分析的高束流电子源，采用超粗热场发射方案，在1700～1850K稳定工作温度下，既能保持肖特基发射有的高亮度、长寿命与低噪声特性，又可输出更高且更稳定的束流，适用于EBSD、EDS、WDS等对束流需求严苛的大电流分析场景，以及半导体缺陷检测、高通量纳米加工等应用。
高束流分析电子源特点:
超粗针尖设计：曲率半径1000nm以上，发射面积大、承载电流能力强；
高通量输出：角电流密度400～1000μA/Sr，满足高束流分析需求；
国产自主研发，可高效替代进口同类产品。
超粗热场发射电子源，属于高束流分析型电子源。
上海瞬景科技有限公司成立于2024年底，量产线位于上海闵行佳通广场紧邻上海交大。瞬景科技的产品广泛应用于高分辨率扫描电子显微镜 (SEM)、透射电子显微镜(TEM)、半导体量检测设备(CD-SEM、 DR-SEM、EBI)、电子束光刻设备(EBL)等，下游覆盖芯片制造、纳米技术、量子计算、新材料研发、航空航天、生命科学、核能等多个战略性新兴产业。
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