北京德仪天力多腔体电子束蒸镀系统
DE3000ER 多腔体电子束蒸镀系统1、多个工艺模块:
- 超高真空蒸镀
- 样品分析
- 样品预清洗
- 样品除气
- 样品氧化
- LOAD LOCK
2、PLC+PC全自动控制样品传输和全部工艺流程
3、主要用途:
- 约瑟夫森结制备
- 超导材料薄膜制备
- 量子器件制备
- 低维材料制备
- LIFT-OFF工艺蒸镀
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