真空环境下镀膜设备的检漏技术

戈姝美

       镀膜设备真空检漏是真空获得保证，它是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。漏气是影响真空获得和真空维持的主要因素之一。
　　 由于镀膜设备漏孔存在会抵消真空泵部分抽气作用，延长抽气时间，降低镀膜设备的极限真空。即使在动态情况下能够达到较高真空度，待与真空抽气系统连接阀门关闭，静态内部压力会迅速上升，严重影响器件的工作特性及寿命。 镀膜设备真空系统漏气是的，不漏气是相对的，对于动态真空系统，只要其平衡压力能够达到所要求的真空度，这时即使存在着漏孔，也可以为该系统的漏率是容许的，动态真空系统的容许漏率Q一应满足公式 Q max≤ 1／1O PS式中 P---系统工作压力 S---系统的有效抽速 对于静态真空系统，要求在一定时间内，其压力维持在容许的压力以，这时即使存在着漏孔，同样可以认为该系统的漏率是容许的，静态真空系统容许漏率Q max应满足公式Q max≤ (Pt---P)V／t 式中P---系统工作压力 Pt—系统极限压力 V--- 系统容积 t--时间
　　
镀膜设备检漏方法的分类检漏的方法很多，但各有特点和使用范围，究竟选用哪种方法比较合适，要根据具体情况而定，作为比较理想的检漏方法应该满足下述几方面的要求：
　　(1)镀膜设备检漏灵敏度高，满足少于被检漏率二个数量级以上。 (2)反应时间短，则找出一个漏孔的时间就短。 (3)能定位，定量测得漏率大小。 (4)能无损、无污染的检漏。 (5)检漏范围广，从大漏到小漏都能检。 (6)检漏仪器应结构简单，操作维修方便。 然而上述要求也是有矛盾的，要求一种方法同时满足上述要求也是不可能的。一般灵敏度高检漏仪结构比较复杂，使用和维修都比较困难。价格也相当贵。所以只能针对不同检漏对象来选择合适的方法。以解决主要矛盾为原则。
　　 镀膜设备很多与电、电磁、水、气源和制冷有关。有的是机械装配中的不细心造成的，有的是绝缘材料或结构上的问题。真空设备出现故障，我们的经验是不要急于下结论，不要急于拆卸设备、应认真分析故障现象，以先易后难的原则使用排除法来进行。先用真空仪表大概判断出设备状态。然后对真空泵单独测试和整个真空机组进行检测，在确保真空获得无问题情况下。进行真空检漏，镀膜设备检漏根据问题论述原则，选检漏仪与检漏方式。行静态升压试验，判断漏气和放气。然后进行分段与整体检漏，找出漏点，并确定其漏率大小。
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