探针式表面轮廓仪|优尼康科技有限公司

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KLA D500探针式表面轮廓仪产品介绍：

KLA D500探针式表面轮廓仪的光学杠杆传感器技术提供高分辨率、较大的高度测量范围和准确的微力控制。探针的接触式测量技术的优点是直接测量，与材料特性无关。多种力度调节和探针尺寸选择可以让机台对各种结构和材料进行准确测量。这些功能可以表征因添加或移除材料而引起的形貌特征改变，以及测量由材料结构改变引起的粗糙度和应力变化。

KLA D500探针式表面轮廓仪包含140毫米手动载物台和具有增强影像控制的光学器件。体积小巧，专为高校、实验室和研究所设计，可为半导体和化合物半导体器件、LED、太阳能、MEMS、汽车和医疗行业提供台阶高度、粗糙度和应力测量。

KLA D500探针式表面轮廓仪产品特点：

500万像素高分辨率彩色相机

平整的扫描平台

用于测量可视化的侧视视图

从0.03到15毫克的力控制范围

Z向扫描范围可达1.2mm

140毫米手动XY样品台，搭配Z向马达

符合CE标准

KLA D500探针式表面轮廓仪产品优势：

优异的重复性和再现性的表现

接触式测量，适用于多种材料

测量软材料的微力控制

梯形失真校正可消除侧视图造成的失真

弧形校正补偿探针的弧形运动

KLA D500探针式表面轮廓仪产品测量原理：

KLA D500探针式表面轮廓仪台阶仪采用了光学杠杆传感器技术。光学杠杆传感器利用转轴组件上表面反射的激光束跟踪表面形貌。反射的光束随后投射到光电探测器上。对于Alpha-Step，光束被分成两部分：一边投射到双电池光电探测器上，另一边投射到单电池光电探测器上。这种设计可以在**个探测器上对较小的步长进行高分辨率测量，而在第二个探测器上对较大的步长进行测量。激光束的偏转在测探针踪表面时发生变化，同时被光电探测器感应到，然后将这种偏转转换为形貌信号。光学杠杆的优势在于整个组件的质量小，可以进行低力测量。此外，该传感器响应速度快，可跟踪表面形貌的变化。

探针式表面轮廓仪

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