主动式减震台|优尼康科技有限公司

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主动式减震台是一种以电子反馈控制为核心的隔振设备，用于为显微镜、激光干涉仪、光刻机、电子显微镜等对环境振动敏感的仪器提供稳定的工作台面。与依靠空气弹簧或橡胶等弹性元件的被动隔振不同，主动式减震台内置加速度传感器与执行器，能够实时采集台面受到的外部振动信号，由控制器运算后驱动执行器施加一个相位相反的作用力，从而在振动传递到仪器之前将其抵消。

在硬件构成上，主动式减震台通常由台面、支撑框架、压电或电磁执行器、加速度传感器与控制单元组成。台面多采用封闭式铝制结构，便于在洁净室环境中使用，且无需外接压缩空气。传感器布置在多个自由度方向，可同时抑制水平与竖直方向的振动；控制回路采用闭环反馈，并配合被动隔振元件吸收高频振动，使系统在较宽的频段内保持较低的振动传递率，且不易出现固有共振。

从使用角度看，这类设备一般具备自动调平、运输锁定、波形显示等功能。操作人员只需完成开机与一键调平，系统即可自动进入隔振状态；面板或上位机软件可实时显示加速度时间波形与频谱，便于判断隔振效果。日常安装时应放置在远离振源的位置，避免超载，并定期检查传感器与执行器的连接是否牢固。主动式减震台常配套原子力显微镜、扫描探针显微镜、激光共聚焦显微镜、白光干涉仪、显微硬度计与精密天平使用。优尼康科技作为相关设备供应商，可提供主动式减震台及配套技术咨询。

主动式减震台

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