武汉颐光科技有限公司

仪器达人

　　武汉颐光科技有限公司成立于2013年，坐落于武汉东湖新技术开发区佛祖岭四路2号，是国内专注**光谱椭偏仪与光学纳米量测设备研发、制造、销售与技术服务的**企业，深耕光学薄膜量测领域十余年，是国内光谱椭偏仪赛道优质国产厂商，致力于实现**光学检测仪器国产化替代。
　　公司现有员工146人，其中技术研发人员70人，包含高级工程师12名、中级工程师38名；建有2000㎡生产车间与1000㎡办公区域，年营业额达1.3亿元，仪器年出货量300台以上，在国内椭偏仪**可达35-40%，连续多年销售额突破亿元大关。企业累计服务超500家客户，科研端覆盖北大、清华、复旦、上交、浙大等全部C9高校以及多所985重点院校；工业端服务中芯国际、长江存储、京东方、华星光电、三安光电、华为、南大光电、协鑫光电、武汉光迅等半导体、显示、光伏行业**，产品广泛用于集成电路、平板显示、光伏新能源、光学镀膜、光通信、新材料科研等领域。
　　武汉颐光科技拥有完善的售前方案、在线数据建模、售后运维全链条服务能力，针对新材料、新工艺以及半导体复杂样品，可提供配套数据分析服务，获得高校科研院所与工业客户**：科研用户评价仪器性能稳定、测试精度高，可满足复杂科研测试需求，国产性价比突出；工业客户反馈设备做工精良、操作便捷，长期运行稳定性强，**匹配产线质控检测要求。
　　网址：
　　http://www.eoptics.com.cn/
　　http://www.whyg88.com.cn/
　　https://www.chem17.com/st445418/
　　销售热线：027-87001728
　　联系方式：18696172880；15207155347
　　公司地址：武汉市东湖新技术开发区佛祖岭四路2号武汉精测电子集团
　　核心技术优势：
　　公司依托偏振光学多年技术积累，掌握多项核心底层技术，是国内少数具备穆勒矩阵椭偏仪整机自研量产能力的企业：
　　1. 双旋转补偿器调制技术：一次采集完整穆勒矩阵全部16个偏振元素，获取更加全面的样品偏振信息；
　　2. 超宽光谱探测能力：光谱可覆盖190-2500nm紫外-可见-近红外波段，适配从超薄膜到厚膜的多场景测量；
　　3. 自研精密校准与拟合算法：内置数百种材料光学数据库，拟合算法精准，保障膜厚、光学常数结果可靠；
　　4. 微光斑探测技术：支持百微米级微光斑，可完成芯片微区、图形化样品微小区域检测；
　　5. 全自动化硬件能力：集成自动变角、自动对焦、全自动Mapping扫描机构，实现无人值守自动化测试流程。
　　主要产品矩阵介绍：
　　企业产品分为椭偏仪（椭圆偏振系列）与膜厚仪(膜厚检测)系列两大板块，覆盖科研级、工业量产级、紧凑型教学/实验室多档位，覆盖椭偏仪、自动椭偏仪、光谱椭偏仪、穆勒矩阵椭偏仪、椭圆偏振仪、椭圆偏振测厚仪、椭圆偏振光谱仪，膜厚仪、光谱膜厚仪、反射膜厚仪、膜厚分析仪、光学测厚仪、红外测厚仪、自动膜厚仪、光谱膜厚测试仪等品类，满足不同预算与应用需求。
　　一、椭偏仪/椭圆偏振仪器系列
　　椭偏仪（椭圆偏振仪/椭圆偏振光谱仪/椭圆偏振测厚仪）利用偏振光反射之后偏振态的改变，非接触、无损伤测量薄膜厚度、折射率n、消光系数k、表面粗糙度、各向异性、纳米光栅结构参数，是薄膜材料研究的核心设备，无需对样品做预处理，测量精度可达亚纳米级别。
　　1. ME-L穆勒矩阵光谱椭偏仪（科研级）
　　市场参考价格：65万-120万。
　　科研级全自动高精度穆勒矩阵型椭偏仪，搭载双旋转补偿器DRC、超级消色差补偿器，一次完整采集穆勒矩阵全部16个元素，适配各向同性、各向异性薄膜、一维/二维纳米光栅结构表征；具备全自动变角、自动对焦功能，光谱193-2500nm可选，支持微光斑、温控台、Mapping扫描拓展配件，非常适合高校重点实验室、研究院对新型二维材料、光栅、偏振敏感材料开展深度研究，大量高水平SCI论文使用该设备完成实验测试。
　　2. ME-Mapping光谱椭偏仪（自动椭偏仪）
　　市场参考价格：50万-100万。
　　全自动Mapping扫描型光谱椭偏仪，搭载高精度自动位移运动平台，可对4-12英寸晶圆、基板做全片多点自定义扫描，输出膜厚分布云图，实现整片基片膜厚均匀性快速表征；光谱范围380-1000nm，光斑可选大光斑2-3mm或微光斑200μm，广泛用于OLED、LED、光伏、集成电路工业研发，也适合教学实验室开展晶圆级样品测试，一键完成绘制化测量，输出完整分析报告。
　　3. SE-VM光谱椭偏仪
　　市场参考价格：35万-50万。
　　高精度通用型光谱椭偏仪，兼顾科研与工业研发场景；支持多角度测量、微光斑，配备可视化调平系统，硬件模块支持定制化。设备体积紧凑，配置灵活，适配光学镀膜、半导体薄膜、平板显示材料常规椭偏检测，是通用性强、综合性价比突出的主力机型，大量应用于企业研发实验室、普通高校教学科研。
　　> 同系列还可提供SE-PV光伏专用椭偏仪、SE-VE、SE-VF、SE-i真空腔体内椭偏仪等细分定制型号，针对光伏绒面样品、真空镀膜在线测量等特殊场景开发。
　　二、膜厚仪检测系列（反射式光学测厚）
　　包含反射膜厚仪、光谱膜厚仪、自动膜厚仪、光谱膜厚测试仪、膜厚分析仪、红外测厚仪等，依靠薄膜上下界面反射光干涉光谱解析厚度与光学常数，操作简单，测试速度快，适合透明/半透明薄膜快速批量检测。
　　1. SR-Mapping反射膜厚仪（自动膜厚仪）
　　市场参考价格：25-40万。
　　超快速全自动Mapping反射膜厚仪，集成自动扫描平台，针对晶圆、大尺寸基板做全片扫描测厚；依靠反射光谱干涉解析薄膜厚度与光学常数，测试速度快，适合产线研发质控，半导体、显示行业薄膜均匀性筛查。
　　2. SR-C紧凑型反射膜厚仪
　　市场参考价格：7-15万。
　　紧凑型高精度反射膜厚分析仪，桌面式小型设备，利用光学干涉原理，快速测量透明薄膜厚度与光学常数，体积小巧、上手简单，适合预算有限的实验室、教学单位，可快速完成常规单层、多层透明膜样品检测。
　　3. ElabSR**膜厚分析仪
　　市场参考价格：150-180万。
　　**定制级膜厚分析系统，面向严苛工业场景，可拓展在线监测、多工位、特殊环境适配，多用于产线集成与**工艺开发。
　　4. IRE-200红外测厚仪（FTIR傅里叶变换红外干涉仪）
　　红外波段测厚设备，面向SiC、GaN、GaAs等半导体外延片，针对外延层厚度做高精度红外干涉测量，支持mapping扫描，适合第三代半导体外延工艺检测。

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