三维光学形貌仪|北京品智创思精密仪器

仪器健谈

产品简介：  
三维光学形貌仪结合相移垂直扫描的前沿技术与显微光干涉技术，不需要复杂光路调整程序，即可在非接触、无破坏、普通大气环境下完成3D纳米深度的表面检测分析不仅提供3D表面形状和表面纹理的分析，更可提供镜面表面的纳米级粗糙度和台阶高度分析  
并追溯至IS0国际规范。三维光学形貌仪具有的测量能力，可在几秒内就完成整个视场的扫描得到测量样品的3D图形与高度数据，检测速度与深度量测能力优于逐点逐面扫描的共焦扫描显微镜，3D图形量测能力又优于扫描式电子显微镜的2D平面检测能力，且不需要使用电子束或雷射，开机快又安全，维护成本更低。  
无论是抛光面，还是粗糙面，甚至是高透明材质(例如石英),只要有超过1%以上的反射率就能够被检测。适合各种材料与微元件表面特征和微尺寸检测，应用领域包含:触控面板(TouchPanel)  
太阳能板(SolarCell)  
晶圆(SiliconWaferorSapphireWafer)  
光碟/硬碟(DVDDisk/HardDisk)  
微机电元件(MEMSComponents)  
平面液晶显示器(LCD)  
高密度线路印刷电路板(HDIPCB)  
IC封装(ICPackage)  
精密微机械元件或模具(MicroMechanicalPartsorMode)以及其它材料分析与元件微表面研究。
纳米深度3D形状显微检测仪提供Z轴扫描解析度0.1nm,平面空间分辨力0.62um(50X物镜)的量测能力，所具有的纳米3D显微形貌快速呈现能力是科研、研发、生产品检时所的工具。

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李悠柔

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